Hvordan belægger ultralydssprøjtedysen fotoresisten?

Ultralydsspraybelægningsteknologi er en ny teknologi, der i øjeblikket spiller en væsentlig rolle i forskellige industrier. Større antal kunder vælger nu ultralydsdyse til belægning. Sammenlignet med traditionel to-væskesprøjtning giver ultralydssprøjtning betydelige fordele med hensyn til belægningskvalitet, materialeudnyttelse og proceskompatibilitet.

 

Vores firma tilbyder gratis prøvetesttjenester, og et stigende antal kunder sender os prøver til test. Vores udstyr har fået positive anmeldelser og anerkendelse fra vores kunder.

 

I dag vil vi diskutere ultralydsfotoresistsprøjtning, en relativt almindelig form for materialesprøjtning.

 

Fotoresist er et tyndfilmsmateriale, der er følsomt over for lys eller stråling og bruges primært til fine mønstre inden for områder som integrerede kredsløb og displaypaneler. Den fungerer som en ætsningsbestandig-belægning i fotolitografiprocessen. Dens opløselighed ændres ved udsættelse for lys og danner det ønskede kredsløbsmønster. Fotoresists er kategoriseret i positiv-tone (eksponerede områder opløses) og negativ-tone (ueksponerede områder opløses). Afhængigt af eksponeringslyskilden klassificeres de i UV-, dyb UV-, ekstrem UV- og elektronstrålemodstand.

Kernen i ultralyds-fotoresist-forstøvningsteknologi er brugen af ​​ultralydsvibrationsenergi for at opnå effektiv og ensartet forstøvning af fotoresisten. Præcis luftstrømskontrol leverer derefter de forstøvede dråber til substratoverfladen og danner en belægning af høj-kvalitet. Processen kan opdeles i tre hovedfaser:

 

 

1. Forstøvning af fotoresist: Høj-vibration nedbryder væskens overfladespænding.

Kernekomponenten i ultralydssprøjteteknologi er ultralydsforstøvningsdysen, som rummer en piezoelektrisk keramisk vibrator. Når et høj-elektrisk signal påføres vibratoren, genererer den mekaniske vibrationer ved samme frekvens, der transmitterer vibrationsenergien til dysens forstøvningsoverflade. Efter at fotoresisten er leveret til forstøvningsoverfladen gennem væskeforsyningssystemet, nedbryder de højfrekvente vibrationer hurtigt væskens overfladespænding og danner mikron-dråber med en ensartet diameter (typisk 5μm-50μm).

Sammenlignet med traditionel trykforstøvning (som er afhængig af høj-luftstrøm for at bryde væsken op), eliminerer ultralydsforstøvning behovet for interferens med høj-luftstrøm, hvilket resulterer i en mere ensartet dråbestørrelsesfordeling (inden for ±10 %). Det undgår også sprøjtende dråber eller forstyrrelse af underlagets overflade på grund af luftstrømspåvirkning.

 

2. Præcis kontrol af overførselsstien

Vores virksomhed har professionelle programmeringsingeniører, der selvstændigt kan programmere forstøvningsspraybanen. Vi kan også tilpasse forskellige sprøjtebaner i henhold til kundens krav. Vi har moden erfaring i fremstilling af komplette maskiner. For hver enhed programmerer vi den til kunden. På skærmen ser kunden spraystien i realtid-. Ud over vejvalg skal vi også justere luftstrømningshastigheden (for at kontrollere overførselsafstanden, typisk 5-50 mm) og den relative position af dysen og substratet (ved hjælp af en robotarm eller translationstrin til tredimensionel positionering), sikrer vi, at de forstøvede partikler når substratoverfladen lodret og jævnt, hvilket undgår ujævn belægningstykkelse, der forårsages af luftstrømning.

3. Belægningsfilmdannelse: Lav-temperaturhærdning sikrer strukturel integritet

Efter at de forstøvede dråber er aflejret på substratoverfladen, gennemgår de en lav-temperaturhærdningsproces (typisk 60 grader -120 grader, langt lavere end de høje-temperaturhærdningstemperaturer for traditionel spincoating) for at danne en film. Lavtemperaturhærdning forhindrer ikke kun substratdeformation eller materialenedbrydning forårsaget af høje temperaturer, men reducerer også spændingsakkumulering i fotoresisten, hvilket forbedrer belægningens vedhæftning og strukturelle integritet, hvilket lægger et godt grundlag for efterfølgende fotolitografiprocesser.