RPS-SONIC: A Benchmark For Industrialization Of Ultrasonic Atomization Spraying Of TCO Thin Films

I bølgen af ​​industrialisering af TCO-teknologi til klargøring af transparent ledende film har RPS-SONIC med sit målrettede teknologiske forskning og udvikling og scenariebaserede-design gjort sit ultralydsforstøvningsudstyr til et kerneudstyrsvalg inden for solcelleanlæg, displays og konstruktion. Det opfylder ikke kun industriens kernekrav til "høj lystransmittans, lav plademodstand og grøn effektivitet", men fremmer også overgangen af ​​TCO tyndfilmpræparation fra laboratoriet til stor-skalaproduktion gennem præcis parameterkontrol og stabil drift.

RPS-SONIC ultralydsforstøvningsudstyr, baseret på høj-vibrationsforstøvningsteknologi, har dannet en differentieret produktmatrix til TCO-tyndfilmforberedelsesbehov, med dets kerneteknologiske egenskaber, der viser særlig enestående tilpasningsevne til TCO-forberedelse. Udstyret anvender hovedsageligt to højfrekvente vibrationssystemer: 40kHz og 60kHz. Blandt dem kan den 40 kHz fokuserede ultralydsforstøvningsdyse, gennem et specielt konstriktionsflowkanaldesign, få bæregassen til at samle sig ensartet og forstøve TCO-prækursoropløsningen (såsom ITO, AZO, FTO sol) til ensartede dråber på 15-40μm. Dråbefordelingens ensartethedsfejl kontrolleres inden for ±3 %, hvilket perfekt matcher de præcise tykkelseskrav for TCO-film på 10nm-500nm. Til lav-viskositet (0 cps) TCO-precursoropløsninger opnår udstyret præcis flowkontrol på 0,5-20 ml/min. Kombineret med en justerbar sprøjtehøjde på 30-80 mm og et lavtryks flowguidedesign på 0,5 MPa undgår det dråbesprøjtproblemerne ved traditionel tryksprøjtning, samtidig med at det sikres tæt aflejring af dråber på underlagets overflade. Dette resulterer i TCO-filmplademodstandsudsving kontrolleret inden for ±5%, og synlig lystransmittans stabiliseret på 85%-95%, hvilket fuldt ud opfylder ydeevnekravene for avancerede applikationer såsom fotovoltaiske celler og fleksible skærme.

Med udgangspunkt i kernefordelene ved TCO-filmforberedelse forstærker RPS-SONIC yderligere den industrielle værdi af ultralydsforstøvningsteknologi. For det første har udstyret betydelige fordele i materialeudnyttelse og omkostningskontrol. Gennem "trykløs forstøvning" og fokuseret sprøjtedesign når TCO-prækursoropløsningens udnyttelsesgrad op til 90%, hvilket sparer over 80% af materialeforbruget sammenlignet med traditionelle magnetronforstøvningsprocesser. Dette er særligt fordelagtigt ved fremstilling af ITO tynde film, hvor indiumressourcer er knappe, da det reducerer tab af ædelmetal betydeligt og derved sænker produktionsomkostningerne for virksomheder. For det andet udviser den ekstrem stærk substratkompatibilitet. Udstyret bruger meget lav kinetisk energi til dråber under forstøvning, hvilket repræsenterer en typisk lav-forberedelsesproces. Dette gør den velegnet ikke kun til stive substrater som glas- og siliciumwafers, men også til fleksible substrater som PET og PI. Dette løser smertepunkterne ved traditionelle processer i fleksibel TCO-tyndfilmforberedelse, som let fører til substratdeformation og ydeevneforringelse, hvilket giver en pålidelig løsning til TCO-tyndfilmproduktion inden for områder som fleksible OLED-skærme og bærbare enheder. For det tredje kombinerer den skalerbarhed og stabilitet. Udstyret understøtter multi-dysearrays med en enkelt sprøjtebredde på 1-3 meter. Kombineret med et justerbart effektdesign på 10-100W, kan det opfylde behovene for små-batch-F&U i laboratorier samt storskalaproduktion af store enheder såsom solcellemoduler og arkitektonisk glas. Ydermere har udstyret ingen bevægelige dele, der oplever slid, og dyserne er mindre tilbøjelige til at tilstoppe, hvilket reducerer produktionsnedetiden og sikrer stabiliteten af ​​kontinuerlig produktion.

Med hensyn til industrianvendelse har RPS-SONIC ultralydsforstøvningssprøjteudstyr etableret adskillige benchmark-sager inden for TCO-tyndfilmforberedelse. I solcelleindustrien bruges dets udstyr til at sprøjte det AZO/TCO transparente ledende lag af perovskit-solceller. Ved præcist at kontrollere dråbestørrelsen og aflejringshastigheden forbedres cellernes fotoelektriske konverteringseffektivitet med 2-3 procentpoint. I øjeblikket er det gået ind i 1GW-niveau perovskite-silicon heterojunction tandemcelle-pilotlinje af en førende indenlandsk solcellevirksomhed, der hjælper med at opnå storskala masseproduktion. I visningsfeltet, til fremstilling af ITO/PET-kompositfilm til fleksible OLED-skærme, kan udstyret stadig sikre, at plademodstandsændringshastigheden for TCO-filmen er mindre end 10 %, og lystransmittansen forbliver over 92 % på et fleksibelt substrat med en bøjningsradius på 5 mm.

Dette hjælper downstream-producenter med at forbedre udbyttet af fleksible skærme fra 75 % med traditionelle processer til 88 %, og bliver en kerneudstyrsstøtte for den fleksible skærmindustrikæde. Inden for arkitektonisk smart glas bruges udstyret til sprøjtning af AZO transparente ledende film til elektrokrom glas, hvilket opnår tykkelsesfejlkontrol på ±2nm. Dette resulterer i en elektrokrom responshastighed på mindre end eller lig med 10 sekunder og en levetid på over 100.000 cyklusser. Samtidig sikrer filmens høje lystransmittans og korrosionsbestandighed den langsigtede-stabile drift af smartglasset, og det er blevet anvendt til produktion af smarte vinduer i mange{10}}avancerede byggeprojekter i ind- og udland. Ydermere kan Hangzhou Gonglus udstyr prale af enestående alsidighed, hvilket ikke kun muliggør almindelig TCO-tyndfilmsforberedelse, men også kompositsprøjtning af funktionelle film såsom anti-tåge og anti-korrosionsbelægninger med TCO-lag. For eksempel kan den samtidigt sprøjte et FTO-gennemsigtigt ledende lag og en anti-begroningsbelægning på overfladen af ​​solcelleglas, hvilket yderligere forbedrer enhedens overordnede ydeevne. I fremtiden, med promoveringen af ​​indium-fri TCO-materialer (såsom AZO og GZO) og integrationen af ​​AI-visuel inspektionsteknologi, forventes Hangzhou Gonglus udstyr at opnå endnu højere ydeevnemål, herunder en lystransmittans på over 98 % og en plademodstand under 5Ω/□, hvilket kontinuerligt driver den grønne TCO-forberedelse og tyndere film.

Som en industriel benchmark inden for ultralydsforstøvningssprøjtning giver RPS-SONIC-udstyr med dets præcise parameterkontrol, stabile drift og brede anvendelsesmuligheder kerneunderstøttelse til stor-produktion af høj-kvalitet af TCO-gennemsigtige ledende film. Dets tekniske løsninger opfylder ikke kun de nuværende udviklingsbehov i den optoelektroniske industri, men vil også spille en afgørende rolle i teknologisk innovation på nye områder som fleksibel elektronik og ny energi i fremtiden.